一、蚀刻金属材料的原因，金属材料的品质和精度影响较大，精度要求高的蚀刻件，材料必须是蚀刻专用材料，同时精度和材料的厚度也有一定的关系，一般来说，厚度较厚的材料，蚀刻精度比薄料误差大；
二、蚀刻液的类型，对应不同的金属蚀刻配置针对的蚀刻液，同时蚀刻温度、蚀刻速度也与精度有关；
三、蚀刻设备，蚀刻加工精度和蚀刻设备有关，蚀刻设备各项参数稳定，蚀刻件品质较高；
四、曝光设备也与蚀刻精度有关，曝光机的曝光准确，直接影响蚀刻件精度。
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